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光学微电子净化工程解决方案:

　　3、光学微电子行业净化工程设计方案分析之分体空调柜机++FFU送风口

　　这是简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内，并用彩钢围护起来，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。

　　4、光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点

　　B、室内空气参数要求 ：

　　(1)温湿度要求：温度一般为24+2℃，相对湿度为55+5%。

　　(2)新风量大。由于这类车间内，人员比较多，可以根据以下数值应取下列的大值：非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜

空气量≥40m3/h。

　　(3)送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量，就300平方米的车间，吊顶高度为2.5米的，如果是万级，送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数，是≥25次/h);如果是十万级，送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数，是≥15次/h)。是直接将分体空调柜机布置于车间内，并用彩钢围护起来，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网)。

      无尘室温湿度波动大是不是和SCR有关系？

      判断物品是否可以带进无尘室，主要依据是该物品的发尘量，是否持续发尘，以及是否容易附着灰尘。工具箱一般是金属或塑料质地，擦拭干净后发尘量并不大，也不容易附着灰尘，所以一般是可以带进的。

      当然具体情况还要看各个使用部门的规定，以及无尘室的级别。如果级别比较高的无尘室，应该也是不可以的。级别低的无尘室可以带入，但也应该在使用完毕后及时带出。